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Products


Monaco 1000 I
Features / Benefits
  • 반도체 제조장치 부품의 입자 검출 검사
  • Hole 이 형성된 부품의 Hole 부분 입자 검사
  • 백그라운드 입자 레벨을 Zero 근접을 실현.
  • 1000 Cynos R2 대비 성능개선
  • 가압분사 모드 / 흡입모드 / 조합모드 등 유체 흐름 변경용이
  • 컴퓨터 레시피 적용으로 시료별 조건 설정 및 적용 용이
Basic Specifications
  1. Sensitivity : 0.1 um 이상 Particle 검출 ( 10 nm 등 보다 작은크기 입자는 별도 문의 바랍니다 .)
  2. Power : 220 v (50 Hz, 60 Hz) 15 A ( 단상 )
  3. Utility Gas : N2 (1/4”), Compressed Air (Filtered 1/4”)
  4. Chamber : Class 1 Background level
  5. Interface to Particle Counter : RS 232 , RS 485, Ethernet etc
  6. Dimension : Main Body :920mm (w) x 1200mm(d) x 1920mm(h) 350kg
Applications - 대상시료
  1. Showerhead Hole 및 표면입자 검사
  2. Hole 이 형성된 장비용 부품의 입자 검사
Applications - 분야 / 기업
  1. 반도체 소자사 : 부품의 장치 장착전 검사 / 수입검사
  2. 반도체 장비사 : 부품의 장치 장착전 검사 / 수입검사
  3. 반도체 장비 부품사 : 수입검사 / 출하검사
  4. 부품 세정 : 세정전후 검사 / 공정중 검사 / 출하검사
  • *특허등록(1014832240000) / 브랜드 : T-Micron
  • 2014.11.1 부터 Monaco 시리즈의 브랜드가 종전 NENT 에서 T Micron 브랜드로 변경되어 출하 됩니다. (장치 좌측상단 기재 명칭)